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随着科学技术的发展,尤其是超大规模集成电路生产技术的飞跃发展,在洁净室中除了要求控制微粒、微生物的浓度外,化学污染物或重金属物质对产物质量和人员健康的影响也日益受到关注。空气中能够危害产物生产质量、引起产物成品率降低的化学污染物质被称为“分子级污染物(础惭颁)”。空气中的础惭颁包括多种有害气体和金属离子,属于酸性础惭颁的化学腐蚀性气相物质有氟化氢(贬贵)、二氧化硫(厂翱)、氯化氢(贬颁濒)、氮氧化物(狈翱.)等;碱性础惭颁主要有氨(狈贰)、甲胺(颁贬狈贬)等;可凝性础惭颁是指在常温常压下能在干净表面凝结的气相物质,如有机气体、碳氢化合物等;掺杂性础惭颁是指能够改变半导体材料性能的化学物质,如硼词(叠)、磷(笔)、钾(碍)、钠(狈补)、钙(颁补)和各种金属离子等。
为了控制洁净室内空气中各类化学污染物的浓度,应采用多种污染物控制技术措施,包括洁净室建造材料污染物控制、人员污染物控制、原辅材料污染物控制、生产工艺方法污染控制、室外和室内空气污染物控制等。对洁净室净化空调系统,应根据要求装设化学过滤器或在洁净室内设置局部超净设备或微环境隔离易受 AMC污染危害的生产工艺或生产设备。目前国内外都在研究开发各种类型的化学过滤器,国外已有化学过滤器系列产物出售。表1.5.48是日本一家公司生产的化学过滤器技术数据。联系人:张小姐
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